XIVER versterkt productie met ASML DUV-lithografietool

XIVER, een gespecialiseerde foundry op de High Tech Campus in Eindhoven, investeert in een ASML PAS 5500 deep ultraviolet (DUV) lithografietool om haar productiecapaciteit voor microsystemen en fotonica uit te breiden. Met deze tool, die in 2027 operationeel wordt, positioneert het bedrijf zich als cruciale speler voor klanten die complexe fotonische apparaten willen opschalen van R&D naar volumeproductie.

XIVER is de enige middelgrote pure-play foundry in Europa met in-house DUV-lithografie. De ASML PAS 5500 maakt dubbelzijdige waferpatronering en submicron 3D-microbewerking mogelijk. Dit verbetert de precisie en patroonfideliteit voor toepassingen zoals optische communicatie, infrarood (IR) sensing en ultrasonische transducers. De tool is compatibel met zowel CMOS- als niet-CMOS-materialen, waaronder silicium, goud en dunne film lithiumniobaat (TFLN). Hierdoor kan XIVER klanten bedienen met uiteenlopende eisen, van halfgeleiderapparatuur tot geavanceerde sensoren.

Technische vooruitgang

De PAS 5500 biedt significante verbeteringen in golfgeleidergeometrieën, met lagere propagatieverliezen en kleinere bochradii. Dit stelt klanten in staat om diep submicron-kenmerken te realiseren met precieze laag-op-laag-uitlijning. De tool versnelt de overgang van prototypen naar massaproductie, wat cruciaal is voor de groeiende vraag naar fotonische componenten in telecom, medische apparatuur en industriële sensoren. XIVER’s focus op microsystemen en fotonica vult een niche aan die grote foundries vaak negeren.

Impact op de Europese halfgeleiderautonomie

De investering in DUV-lithografie versterkt de Europese autonomie in halfgeleiderproductie. XIVER’s locatie op de High Tech Campus in Eindhoven, hart van de Brainport-regio, maakt het bedrijf een sleutelspeler in het lokale ecosysteem. Met meer dan 100 hoogopgeleide professionals onder leiding van CEO Wil van de Wiel en CTO Joost van Beek, richt XIVER zich op markten waar Europa een sterke positie kan innemen, zoals optische communicatie en IR-sensing. Dit draagt bij aan de strategische doelen van de EU om de afhankelijkheid van Aziatische productie te verminderen.

ASML als technologische partner

ASML blijft de markt domineren met zijn DUV- en EUV-lithografietools. In 2025 verkocht het bedrijf 279 DUV-systemen, waarvan 47% immersiesystemen waren. De PAS 5500 past in ASML’s portefeuille van geavanceerde lithografie-oplossingen, die essentieel zijn voor de productie van moderne chips. Hoewel ASML’s focus ligt op EUV voor de meest geavanceerde nodes, blijft DUV cruciaal voor toepassingen zoals 3D-microbewerking en dubbelzijdige patronering, waar XIVER nu op inzet.

Toekomstige groei en schaalbaarheid

De verwachting is dat de PAS 5500 in 2027 operationeel is. XIVER’s investering sluit aan bij de groeiende vraag naar fotonische componenten, gedreven door trends zoals AI, 5G en geavanceerde sensoren. De tool maakt het mogelijk om complexe ontwerpen sneller en efficiënter te produceren, wat de tijd naar markt voor klanten verkort. Met deze uitbreiding versterkt XIVER haar positie als partner voor bedrijven die innovatieve microsystemen willen realiseren zonder in te boeten aan schaalbaarheid.