ASML-spinout haalt €20 miljoen op voor chipinspectie

De Eindhovense startup Invisix heeft twintig miljoen euro opgehaald voor een nieuwe techniek waarmee chips veel nauwkeuriger gecontroleerd kunnen worden. Het bedrijf wil daarmee een groeiend probleem in de chipindustrie aanpakken: minuscule fouten die met huidige meetapparatuur nauwelijks nog zichtbaar zijn.

De investeringsronde werd geleid door partijen als Hitachi Ventures, imec.xpand en imec. Ook een grote chipfabrikant investeerde mee. Volgens eerdere berichten zou Samsung interesse hebben in de technologie voor zijn toekomstige 2-nanometerchips.

Miljoenenverliezen tegengaan

De chipindustrie loopt tegen een fundamenteel probleem aan. Moderne chips bestaan uit extreem kleine en complexe 3D-structuren die met traditionele optische meetmethodes steeds moeilijker te inspecteren zijn. Daardoor worden defecten soms pas ontdekt nadat wafers al zijn verwerkt, wat miljoenenverliezen kan veroorzaken.

Invisix gebruikt daarom zachte röntgenstraling in plaats van conventioneel licht. Dankzij die veel kleinere golflengte kunnen structuren zichtbaar worden die voor bestaande systemen verborgen blijven. Het bedrijf combineert deze techniek met reconstructie-algoritmes en machine learning om een gedetailleerd 3D-beeld van chips te maken.

Onderzoek binnen ASML

De technologie is gebaseerd op meer dan tien jaar onderzoek binnen ASML. De startup heeft een groot deel van die kennis gelicenseerd van het Veldhovense chipmachinebedrijf. Aan het hoofd staan oud-ASML’ers Christina Porter en Sietse van der Post.

Eerste productiesysteem bouwen

Met het nieuwe kapitaal wil Invisix een eerste productiesysteem bouwen en zijn team uitbreiden. Vanuit een nieuwe cleanroom in Eindhoven moeten de eerste demonstraties voor klanten plaatsvinden. De technologie richt zich vooral op de nieuwste generatie AI-chips, waar de druk om productiefouten te verminderen steeds groter wordt.